[17p-F2-1~17] 8.2 プラズマ診断・計測

[17p-F2-3] 高真空平板マグネトロン放電の二つのモードと動画観測

^○大野貴弘，伊藤勝利，宇原祥夫，三浦勉，斉藤茂 (東京理科大工)

キーワード：高真空平板マグネトロン