16:30 〜 16:45
[17p-F3-10] 有限要素法による容量結合型RF放電プラズマの2次元解析
キーワード：Capacitively coupled plasma, 2D finite elment model, COMSOL Multiphysics
講演情報
一般セッション(口頭講演)
08．プラズマエレクトロニクス » 8.1 プラズマ生成・制御
[17p-F3-1~16] 8.1 プラズマ生成・制御
2014年3月17日(月) 14:00 〜 18:15 F3 (F301)
一般セッション(口頭講演)
08．プラズマエレクトロニクス » 8.1 プラズマ生成・制御
2014年3月17日(月) 14:00 〜 18:15 F3 (F301)
16:30 〜 16:45
キーワード：Capacitively coupled plasma, 2D finite elment model, COMSOL Multiphysics