[17p-F3-1~16] 8.1 プラズマ生成・制御

△ [17p-F3-5] タンデム型ECRイオン源第2ステージにおける多価イオン生成

^○（M2）矢野慧介¹，木村大樹¹，熊倉翔¹，今井洋太¹，西岡田卓也²，佐藤文信¹，加藤裕史¹，飯田敏行¹ (阪大院工¹，阪大工²)

キーワード：ECR,イオン源,イオンビーム