2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

08.プラズマエレクトロニクス » 8.1 プラズマ生成・制御

[17p-F3-1~16] 8.1 プラズマ生成・制御

2014年3月17日(月) 14:00 〜 18:15 F3 (F301)

15:00 〜 15:15

[17p-F3-5] タンデム型ECRイオン源第2ステージにおける多価イオン生成

○(M2)矢野慧介1,木村大樹1,熊倉翔1,今井洋太1,西岡田卓也2,佐藤文信1,加藤裕史1,飯田敏行1 (阪大院工1,阪大工2)

キーワード:ECR,イオン源,イオンビーム