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一般セッション(口頭講演)

08．プラズマエレクトロニクス » 8.1 プラズマ生成・制御

[17p-F3-1~16] 8.1 プラズマ生成・制御

2014年3月17日(月) 14:00 〜 18:15 F3 (F301)

15:15 〜 15:30

[17p-F3-6] ECRプラズマの電子エネルギー分布関数と多価イオンビームの価数分布

^○熊倉翔，木村大樹，矢野慧介，今井洋太，西岡田卓也，佐藤文信，加藤裕史，飯田敏行 (阪大院工)

キーワード：ECR plasma,EEDF