[17p-F3-1~16] 8.1 プラズマ生成・制御

[17p-F3-7] 電子サイクロトロン共鳴イオン源プラズマから引き出されたイオンビーム電流量に対する引き出し電極の改良

^○木村大樹¹，矢野慧介¹，熊倉翔¹，今井洋太¹，西岡田卓也²，佐藤文信¹，加藤裕史¹，飯田敏行¹ (阪大院工¹，阪大工²)

キーワード：ECRIS,イオンビーム,電極