[17p-F4-1~13] 7.6 Ion beams

[17p-F4-12] 3D molecular imaging of organic multilayer film by SIMS using gas cluster ion beam.

^○Keisuke Wakamoto¹, Shunichiro Nakagawa¹, Toshio Seki¹, Takaaki Aoki¹, Jiro Matsuo¹ (Kyoto Univ.¹)

Keywords:質量イメージング,ガスクラスターイオンビーム