[17p-F4-1~13] 7.6 イオンビーム一般

△ [17p-F4-7] ガスクラスターイオンビームによるRu薄膜の平坦化（ＩＩ）

^○（M2）山口明良¹，日野浦諒¹，豊田紀章¹，原謙一²，山田公¹ (兵県大院工¹，東京エレクトロン²)

キーワード：ガスクラスターイオンビーム,Ru平坦化