[17p-F4-1~13] 7.6 イオンビーム一般

[17p-F4-8] アセトンクラスターイオンビームのフォトレジストに対する照射効果

角元友樹，^○藤田朗人，龍頭啓充，竹内光明，高岡義寛 (京大光電子理工セ)

キーワード：クラスター