[17p-PG2-1~23] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[17p-PG2-10] 斜め入射堆積法により作製したTiO₂膜の熱処理効果

^○星陽一，平井照通，北原直人 (東京工芸大工)

キーワード：斜め入射堆積,光触媒材料,酸化チタン