[17p-PG2-1~23] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[17p-PG2-9] 水リフトオフ法によるPb(Zr,Ti)O₃薄膜のサブミクロンパターニング

丹羽貴大¹，^○中西一浩²，熊谷慎也³，川江健³，佐々木実²，森本章治² (金沢大院自然¹，金沢大理工²，豊田工大³)

キーワード：サブミクロンパターニング,リフトオフ,a-CaO