[17p-PG3-1~30] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[17p-PG3-28] ZnO TFTのドレイン電流DLTS測定 (3)

^○久保田優人，若林岳，小柳津祥典，森雄大，村中司，鍋谷暢一，松本俊 (山梨大院医工)

キーワード：酸化亜鉛,薄膜トランジスタ,電流DLTS