[18a-D6-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

△ [18a-D6-2] 先端放電型プラズマCVDを用いたβ-SiC上へのダイヤモンドヘテロエピタキシャル成長

^○矢板潤也¹，岩崎孝之^1,2,3，波多野睦子^1,2,3 (東工大¹，ALCA²，CREST³)

キーワード：ダイヤモンド