[18a-D8-1~12] 13.2 絶縁膜技術

△ [18a-D8-4] 共鳴核反応法を用いた水素分布測定および水素による絶縁膜劣化機構の詳細解析

^○東悠介¹，高石理一郎¹，鈴木正道¹，加藤弘一¹，富田充裕¹，三谷祐一郎¹，松本益明²，小倉正平²，福谷克之² (東芝研開セ¹，東大生産研²)

キーワード：絶縁膜信頼性