[18a-E10-1~10] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[18a-E10-6] 高周波重畳直流スパッタAl添加ZnO透明電導電膜の電気特性に対する成膜電力の最適化

^○野本淳一¹，宋華平¹，牧野久雄¹，岸本誠一^1,2，山本哲也¹ (高知工科大総研¹，高知高専機械工学科²)

キーワード：透明導電膜,ZnO