[18a-E10-1~10] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[18a-E10-9] 透明導電膜として機能するInGaZnOの物性評価

^○太田将志¹，石原典隆¹，黒澤陽一¹，野中裕介¹，廣橋拓也¹，高橋正弘¹，山﨑舜平¹，生内俊光²，保坂泰靖²，肥塚純一² (半エネ研¹，AFD Inc.²)

キーワード：InGaZnO,透明導電膜