[18a-E13-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

[18a-E13-10] Ga₂O₃（-201）基板上のGaN（0001）エピタキシャル膜の成長

^○森島嘉克，山下佳弘，佐藤慎九郎，飯塚和幸，倉又朗人，山腰茂伸 (タムラ製作所)

キーワード：酸化ガリウム,GaN