[18a-E13-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [18a-E13-6] 高温スパッタ法により堆積したAlNバッファ層に関する検討

^○（M1）伊藤弘晃¹，飯田大輔¹，近藤保成¹，曽和美保子¹，岩谷素顕¹，竹内哲也¹，上山智¹，赤碕勇^1,2 (名城大理工¹，名大赤碕記念研究センター²)

キーワード：AlNバッファ層