[18a-E13-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [18a-E13-7] Ti初期配向層導入によるSi基板上スパッタAlNの配向性向上

^○（DC）光成正¹，本田善央¹，天野浩^1,2 (名大院工¹，赤﨑リサーチセンター²)

キーワード：スパッタ,Si(110),Si(001)