2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15.結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[18a-E13-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

2014年3月18日(火) 09:00 〜 12:00 E13 (E301)

11:00 〜 11:15

[18a-E13-8] ScAlMgO4基板上におけるGaNのMOVPE成長

岩渕拓也1,窪谷茂幸1,谷川智之1,2,花田貴1,2,片山竜二1,2,湊明郎3,福田承生3,松岡隆志1,2 (東北大金研1,JST-CREST2,福田結晶技術研究所3)

キーワード:酸化物基板,有機金属気相成長法,窒化ガリウム