[18a-E5-1~8] 15.6 IV族系化合物

△ [18a-E5-3] 4H-SiC(000-1)C面におけるwet酸化界面構造の雰囲気による相違

^○平井悠久¹，喜多浩之^1,2 (東大院工¹，JSTさきがけ²)

キーワード：SiC,熱酸化膜,FTIR