[18a-F6-1~12] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

△ [18a-F6-9] 横方向液相エピタキシャル成長法によりY2O3層上に形成した局所GOI層の電気特性評価

^○梶村恵子，松江将博，細井卓治，志村孝功，渡部平司 (阪大院工)

キーワード：LLPE,GOI