2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

06.薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜

[18p-D6-1~19] 6.2 カーボン系薄膜

2014年3月18日(火) 13:30 〜 18:45 D6 (D209)

17:00 〜 17:15

[18p-D6-13] Normally-off HfO2/diamond field effect transistors fabrication

劉江偉,廖梅勇,井村将隆,小出康夫 (物材機構)

キーワード:diamond