[18p-D6-1~19] 6.2 カーボン系薄膜

[18p-D6-15] Al₂O₃およびHfO₂/水素終端ダイヤモンド界面の周波数分散特性

^○小出康夫^1,2，劉江偉¹，廖梅勇¹，井村将隆¹，大里啓孝²，渡辺英一郎²，津谷大樹² (物材機構光電ユニット¹，物材機構微細加工PF²)

キーワード：ダイヤモンド,誘電体,界面