[18p-D6-1~19] 6.2 カーボン系薄膜

[18p-D6-18] (001)面リンドープn型ダイヤモンド成長における基板オフ角依存性

^○川島宏幸^1,3，加藤宙光^1,3，小倉政彦^1,3，鈴木真理子^1,2,3，牧野俊晴^1,3，竹内大輔^1,3，山崎聡^1,3 (産総研¹，東芝²，JST-CREST³)

キーワード：ダイヤモンド,結晶成長,オフ角依存性