[18p-D6-1~19] 6.2 カーボン系薄膜

△ [18p-D6-5] エッチピット法によるヘテロエピタキシャルダイヤモンドの欠陥評価Ⅴ

^○市川公善¹，児玉英之¹，鈴木一博²，澤邊厚仁¹ (青学大理工¹，トウプラスエンジニアリング²)

キーワード：Diamond,Etching,Dislocation