[18p-D6-1~19] 6.2 カーボン系薄膜

△ [18p-D6-9] 重水を用いた原子層堆積(ALD)法によるAl₂O₃膜電気的絶縁耐圧の向上

^○車一宏，斎藤達也，大長央，平岩篤，川原田洋 (早大理工)

キーワード：原子層堆積,ダイヤモンド,重水