[18p-D8-1~15] 13.2 絶縁膜技術

△ [18p-D8-10] 熱酸化におけるGe(001)基板上Ge_1-xSn_x層の表面Sn析出に対する熱安定性

^○加藤公彦，浅野孝典，田岡紀之，坂下満男，中塚理，財満鎭明 (名大院工)

キーワード：ゲルマニウムスズ,スズ析出,熱安定性