2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス » 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[18p-E10-1~20] 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

2014年3月18日(火) 13:15 〜 18:30 E10 (E204)

17:30 〜 17:45

[18p-E10-17] パルス電圧ストレス下における自己発熱による酸化物TFTの劣化解析

木瀬香保利1,笘井重和2,上岡義弘1,山﨑はるか1,浦川哲1,矢野公規2,DapengWang3,古田守3,堀田昌宏1,4,石河泰明1,4,浦岡行治1,4 (奈良先端大1,出光興産2,高知工科大3,CREST4)

キーワード:パルスストレス,TAOS,発熱劣化