[18p-E10-1~20] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

△ [18p-E10-17] パルス電圧ストレス下における自己発熱による酸化物TFTの劣化解析

^○木瀬香保利¹，笘井重和²，上岡義弘¹，山﨑はるか¹，浦川哲¹，矢野公規²，DapengWang³，古田守³，堀田昌宏^1,4，石河泰明^1,4，浦岡行治^1,4 (奈良先端大¹，出光興産²，高知工科大³，CREST⁴)

キーワード：パルスストレス,TAOS,発熱劣化