[18p-E12-1~21] 16.3 シリコン系太陽電池

▲ [18p-E12-17] シクロペンタシランを用いた並列蒸着法による常圧でのa-Si:H膜の作製

^○申仲栄^1,2，増田貴史^1,3，高岸秀行^1,2，大平圭介^1,2,3，下田達也^1,2,3 (北陸先端大¹，JST-ALCA²，北陸先端大GDRC³)

キーワード：cyclopentasilane,atmospheric pressure,amorphous silicon