[18p-E13-1~18] 15.4 III-V族窒化物結晶

[18p-E13-15] 反応性プラズマ支援成膜法により形成したBN膜の構造と機械特性 —窒素流量依存性—

^○野間正男¹，江利口浩二²，長谷川繁彦³ (神港精機¹，京大²，阪大³)

キーワード：BN,RePAC