[18p-E13-1~18] 15.4 III-V族窒化物結晶

[18p-E13-18] CVDによりサファイア基板上に成長させた六方晶窒化ホウ素薄膜の結晶構造評価

^○桑原伊織¹，梅原直己¹，光野徹也³，小南裕子³，中西洋一郎¹，原和彦^1,2 (静岡大電子研¹，静岡大創造大院²，静岡大院工³)

キーワード：六方晶窒化ホウ素,CVD,in-plane XRD