[18p-E13-1~18] 15.4 III-V族窒化物結晶

[18p-E13-2] 酸性アモノサーマル法による高品位GaN結晶育成

^○斉藤真^1,2，包全喜^1,3，冨田大輔¹，古澤健太郎¹，鏡谷勇二²，茅野林造³，喬焜¹，石黒徹¹，横山千秋¹，秩父重英¹ (東北大多元研¹，三菱化学²，日本製鋼所³)

キーワード：GaN,結晶成長,アモノサーマル