2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[18p-E14-1~21] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2014年3月18日(火) 13:15 〜 18:45 E14 (E302)

16:15 〜 16:30

[18p-E14-12] 熱プラズマから発生した水素ラジカルによるグラニュー糖と混合したSiO2の還元

○(B)岡本裕二1,2,鈴木義和2,鯉沼秀臣3,角谷正友1 (物材機構1,筑波大2,東大新領域3)

キーワード:水素ラジカル,砂糖