[18p-E14-1~21] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

△ [18p-E14-12] 熱プラズマから発生した水素ラジカルによるグラニュー糖と混合したSiO₂の還元

^○（B）岡本裕二^1,2，鈴木義和²，鯉沼秀臣³，角谷正友¹ (物材機構¹，筑波大²，東大新領域³)

キーワード：水素ラジカル,砂糖