2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[18p-E14-1~21] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2014年3月18日(火) 13:15 〜 18:45 E14 (E302)

17:00 〜 17:15

[18p-E14-15] 太陽電池級シリカ還元プロセスにおける触媒探索

小笠原卓哉1,アブドラハマンブスタ1,佐藤裕之1,古屋泰文1,角谷正友2,鯉沼秀臣3,伊高健治1 (弘前大1,物材機構2,東大新領域3)

キーワード:シリカ,還元,触媒