[18p-E2-1~18] 17.1 成長技術

[18p-E2-9] 赤外光の照射が可能なプラズマCVD装置の試作

^○森成樹¹，山内繁²，小宮山崇夫¹，長南安紀¹，山口博之¹，青山隆¹ (秋田県大システム科学技術¹，秋田県大木材高度加工研究所²)

キーワード：プラズマCVD,グラフェン,赤外光