[18p-E5-1~11] 15.6 IV族系化合物

[18p-E5-9] p型4H-SiC中に存在する価電子帯近傍の深い準位

^○中根浩貴，加藤正史，市村正也 (名工大)

キーワード：4H-SiC,deep level,DLTS