[18p-F1-1~15] 7.1 X線技術

[18p-F1-10] EUV光源の原子過程、輻射流体モデルの構築に関する考察

^○佐々木明¹，砂原淳²，西原功修³ (原子力機構¹，レーザー総研²，阪大レーザー研³)

キーワード：EUV光源,プラズマ,シミュレーション