2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

07.ビーム応用 » 7.3 リソグラフィ

[18p-F2-1~13] 7.3 リソグラフィ

2014年3月18日(火) 14:00 〜 17:45 F2 (F204)

17:00 〜 17:15

[18p-F2-11] 半導体露光用ArFエキシマレーザチャンバ寿命伸長技術

諏訪輝,池田宏幸,勝海久和,浅山武志,對馬弘朗,熊崎貴仁,黒須照彦,太田毅,柿崎弘司,松永隆,溝口計 (ギガフォトン)

キーワード:ArFエキシマレーザ