[18p-F2-1~13] 7.3 リソグラフィ

[18p-F2-3] 非科学増幅系EUVレジストの低温現像による解像性能向上

^○山口太都¹，江村和也¹，福井翼¹，谷野寛仁¹，原田哲男¹，渡邊健夫¹，木下博雄¹，星野亮一² (兵庫県立大¹，グルーオンラボ²)

キーワード：レジスト