[18p-F2-1~13] 7.3 リソグラフィ

[18p-F2-5] オゾンマイクロバブルによるレジスト除去

後藤洋介¹，北村瞳¹，^○西山聖¹，小池国彦²，堀邊英夫³ (金沢工大¹，岩谷産業²，大阪市大³)

キーワード：オゾン,マイクロバブル,レジスト除去