[18p-F2-1~13] 7.3 リソグラフィ

[18p-F2-6] 熱アニール法によるポリスチレンとポリジメチルシロキサンからなるブロック共重合体のランダム配向面内シリンダ構造の形成

^○山口徹，藤原聡 (NTT物性基礎研)

キーワード：リソグラフィ,ブロック共重合体