2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

07.ビーム応用 » 7.3 リソグラフィ

[18p-F2-1~13] 7.3 リソグラフィ

2014年3月18日(火) 14:00 〜 17:45 F2 (F204)

16:00 〜 16:15

[18p-F2-7] ビルトインレンズマスク・リソグラフィーⅠ-基本概念-

上田直樹,笹子勝,菊田久雄,川田博昭,平井義彦 (阪府大工)

キーワード:フォトリソグラフィ,複素振幅,マスク