[18p-F2-1~13] 7.3 リソグラフィ

[18p-F2-8] ビルトインレンズマスク・リソグラフィーⅡ -基本機能の実験検証-

^○上田直樹，笹子勝，菊田久雄，川田博昭，平井義彦 (阪府大工)

キーワード：フォトリソグラフィ,複素振幅,マスク