2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

07.ビーム応用 » 7.3 リソグラフィ

[18p-F2-1~13] 7.3 リソグラフィ

2014年3月18日(火) 14:00 〜 17:45 F2 (F204)

16:30 〜 16:45

[18p-F2-9] 屈折率分布型レンズアレイを用いた投影露光リソグラフィの線幅均一性

堀内敏行1,高田直貴2,小林宏史1 (東京電機大工1,東京電機大院工2)

キーワード:リソグラフィ,投影露光,屈折率分布型レンズアレイ