[18p-F2-1~13] 7.3 リソグラフィ

[18p-F2-9] 屈折率分布型レンズアレイを用いた投影露光リソグラフィの線幅均一性

^○堀内敏行¹，高田直貴²，小林宏史¹ (東京電機大工¹，東京電機大院工²)

キーワード：リソグラフィ,投影露光,屈折率分布型レンズアレイ