[18p-F3-1~19] 7.4 ナノインプリント

△ [18p-F3-1] 熱ナノインプリント法によるPMMAポリマー表面への0.3 nm原子ステップの大面積転写

^○譚ゴオン¹，井上直哉¹，船迫友之¹，三田正弘²，奥田徳路³，森潤一⁴，小山浩司⁵，中川勝⁶，松田晃史¹，吉本護¹ (東工大¹，協同インターナショナル²，SCIVAX³，フロントラインテク⁴，並木精密宝石⁵，東北大⁶)

キーワード：熱ナノインプリント,PMMA