[18p-F3-1~19] 7.4 ナノインプリント

[18p-F3-3] サブ100 nmサイズ金構造体の作製に向けた光ナノインプリントリソグラフィプロセスの検討

^○上原卓也，久保祥一，中川勝 (東北大多元研)

キーワード：光ナノインプリントリソグラフィ