[18p-F3-1~19] 7.4 ナノインプリント

[18p-F3-5] コロナ放電処理を利用したソーダライムガラスの異方性ウェットエッチング

^○酒井大輔¹，西浦崇雄²，角田聡²，西井準治¹ (北大電子研¹，丸善石油化学²)

キーワード：コロナ放電,ウェットエッチング,ナノインプリント