2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

01.応用物理学一般 » 1.9 超音波

[18p-F5-1~17] 1.9 超音波

2014年3月18日(火) 14:00 〜 18:30 F5 (F305)

17:45 〜 18:00

[18p-F5-15] 微量水分計測のためのボールSAWセンサシステムの高度化

辻俊宏1,萩原啓1,大場俊弘1,小清水秀和1,大泉透1,竹田宣生1,赤尾慎吾1,2,大木恒郎2,高柳浩介2,柳沢恭行2,中曽教尊2,塚原祐輔2,山中一司1 (東北大1,凸版印刷2)

キーワード:SAW sensor,trace moisture,sol-gel SiOx