[18p-F5-1~17] 1.9 超音波

[18p-F5-15] 微量水分計測のためのボールSAWセンサシステムの高度化

^○辻俊宏¹，萩原啓¹，大場俊弘¹，小清水秀和¹，大泉透¹，竹田宣生¹，赤尾慎吾^1,2，大木恒郎²，高柳浩介²，柳沢恭行²，中曽教尊²，塚原祐輔²，山中一司¹ (東北大¹，凸版印刷²)

キーワード：SAW sensor,trace moisture,sol-gel SiOx